超精密真空めっき裝置

超精密真空めっき裝置

しんくうマグネトロンスパッタリングめっきききき(両面金屬メッキ可能材料)


  基材規(guī)格:PET/PP

  フィルム幅/フィルム厚:1350 mm/Min.3 um

  成膜有効幅:最大:1300 mm

  フィルム原反徑/芯管徑:最大:500 mm/6インチ

  張力制御範(fàn)囲:20 ~ 200 N全幅

  巻取り制御方式:Pickup Rollerによる張力制御

  成膜規(guī)格:フィルム両面成膜、接著フィルムCr:30 nm/導(dǎo)電膜Cu:1μm/保護(hù)フィルムCr:50 nm、≦±5%(幅方向)、Cu:2.0uQcm